1. Slotless 리니어 모터 장착

2. Cogging이 없는  속도 Ripple의 최소화

3. 컴팩트한 초소형 사이즈(75*75*20)

4. 센서(FLS,RLS,ORG) 내장

5. 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용 Absolute, Incremental 선택 가능

6. 조합에 따라 2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성이 용이함

7. 적용드라이브

1.UE-M075 X STAGE SPECIFICATION

Item	Unit	X010	X050
Max Force	N	27	27
Rated Force	N	8	7
Max. Load mass	Kg	2.5
Effective Stroke	mm	10	50
Encoder Resolution(Inc.)	µm	0.1
Encoder Resolution(ABS)	µm	0.05
Max. speed	mm/s	400
Repeatability	µm	±0.5
Moving part mass	Kg	0.3
Unit total mass	kg	0.72	0.92
Unit size	mm	75x75x20(H)	140x75x20(H)
사용 환경(온/습도)	-	0 ~ 40 °C / 20 ~ 80% RH(결로 없을 것)