(주)세다

product

과학적인 지능형 솔루션과
인간을 위한 가치를 구현하며
더욱더 발전하며 나아갑니다.

Precision stage

정밀STAGE

UVW

OLED 및 반도체,FPD,PCB 산업분야에 ALIGN STAGE를 공급하여 왔으며,소형 및 대형 Size의 스테이지 제작에 최적의 Solution을 제공하고 있습니다.

1. 동일평면 구동 좌표 - 짧은 주행거리

2. 중공홀 구조로 하부 광원 / 기구물 치부 용이

3. 낮은 TABLE 높이등 - 시스템 간소화

4. 시스템 성능 유지 및 보수의 용이성

5. Align Stage 자체 설계

6. 세부 가공품 관리 및 조립에 대한 경험 풍부

7. 정밀 조립 기술

8. 철저한 평탄도 관리

9. CUSTOM Product 공급 경험

10. 철저한 사후 지원

11. 고객 사양 주문 제작 완벽 지원

1.General Specifications

Table Size	Custom Size
Load Capacity	~5,000kg
X,Y Travel	±10 X 10 mm (중심 홈 위치 기준)
Theta Travel	±1~3 deg (중심 홈 위치 기준)*
Accuracy	±1 µm (P), ±5 µm (S)
Repeatability	±0.5 µm (P), ±2 µm (S)
Flatness	±20 µm (P) or ±40 µm (S)
Motion Part	• 4 Axes Motion Controller • Servo or Micro-stepping Motor ＆ Drive • Optic Limit ＆ Home Switches
Linear Scale Option	5~0.01 micron (P)

* X,Y Travel 및 Moving Block 위치에 따라 변경 됨
(P): Precision , (S): Standard

2.Mechanical Modules

mainBackground