home

mainBackground

product

과학적인 지능형 솔루션과
인간을 위한 가치를 구현하며
더욱더 발전하며 나아갑니다.

Precision stage

정밀STAGE

Z-WEDGE

FPD, PCB, TSP 산업 분야 및 반도체, 산업분야에 특허 받은 다중 분산 지지 방식의 Z-Wedge STAGE를 공급하여 왔으며, 그 동안의 다양한 경험을 바탕으로 특히 고 하중, 대형 Size의 스테이지 제작에 최적의 Solution을 제공하고 있습니다.

1. 고 하중 상태에서 높은 내구성 구조

2. 분산 구조로 하부 광원 / 기구 물 치부 용이

3. 안정된 구조로 높은 반복 정밀도 실현

4. 시스템 성능 유지 및 보수의 용이성

5. 하중 분산형 Z-Wedge Stage 자체 설계

6. 세부 가공품 관리 및 조립에 대한 경험 풍부

7. 정밀 조립 및 측정 기술

8. 철저한 평면도 관리

9. 다양한 CUSTOM Product 공급 경험

10. 철저한 사후 지원

11. 고객 사양 주문 제작 완벽 지원

1.General Specifications

Table Size Custom Size
Load Capacity ~3,000kg
Z Travel Max: 40mm (바닥 위치 기준)
Precision GH 0~N: 1정밀 감속기*
Accuracy ±6 µm (P), ±20 µm (S)
Repeatability ±1 µm (P), ±3 µm (S)
Flatness ±15 µm (P) or ±30 µm (S)
Motion Part • 1 Axes Motion Controller
• Servo or Micro-stepping Motor ＆ Drive
• Optic Limit ＆ Home Switches
Linear Scale Option 5~0.01 micron (P)

* 감속기의 정밀도에 따라 정밀도 사양이 변경 됨

2.Mechanical Modules

  • • Precision Ball Screw Driven
  • • Z Moving Block w/ LM, Cross Roller Bearing ＆ Guides
  • • Aluminum Alloy ＆ Steel Construction
  • • Vacuum Option