1. 리니어 모터 장착

2. 폭(160mm), 높이(45mm)인 초소형 리니어

3. 가반하중 최대 10kg

4. 센서(FLS,RLS,ORG) 외장

5. 고분해능(50nm)의 광학식 엔코더 적용 Absolute, Incremental 선택 가능

6. NEO 스테이지와 조합하여 2축(XY, XT) 또는 3축(XYT)의 구성

7. 적용드라이브

1.FINO LINEAR - 직선형(UE-PL-X)

Item	Unit	X200
Servo Amp	W	200
Max Force	N	64
Rated Force	N	20
Max. Load mass	Kg	6
Effective Stroke	mm	200 ~ 300
Encoder Resolution(Inc.)	µm	0.1
Encoder Resolution(ABS)	µm	0.05
Max. speed	mm/s	400
Repeatability	µm	±0.5
Moving part mass	Kg	1.6
Unit total mass	kg	5.5
Unit size	mm	412x160x45(H) - ST200 기준
사용 환경(온/습도)	-	0 ~ 40 °C / 20 ~ 80% RH(결로 없을 것)